Page 37 - 103年消防月刊11月號
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Forum 工作研討
械能。一般而言,換能器可區分成 2 火災概況
種:1 種是磁力換能器,由鎳或鎳合
一、 發生時間:101年11月3日清晨4時50分。
金製成;另 1 種為壓電換能器,由
二、 現場燃燒情形:火災造成工廠地下1樓
鋯鈦酸鉛或其它陶瓷製成。磁力換
無塵室作業區、1樓管道間及空調區
能器是利用材料在磁場中發生變形
間、2樓管道間與頂樓之排氣設備等均
的原理所設計而成;而壓電換能器 受火熱不等程度燒損,燒損面積約100
是利用所謂的「壓電效應」,將壓
平方公尺。
電材料放入電壓變化的電場中發生
三、 起火處:工廠地下1樓無塵室作業區
變形而成。
R10研磨室南側北端排氣櫃超音波清洗
機清洗槽處。
四、 起火原因:超音波清洗機清洗槽過熱而
引火。
五、 工廠營業項目為雷射二極體(laser
diode,LD)製造,使用超音波清洗機
將晶片上油膜清除,其清洗方式是將晶
片置於含丙酮及NMP(N-甲基吡咯烷
酮)溶液之燒杯中隔水震盪清洗,工作
溫度設定為80℃。
◆ ◆超音波換能器(振動子) 六、 本案超音波清洗機及加熱器均是使用電
力驅動,該機器有下列保護裝置:
(三)超音波發生器 (一)保險絲:電路中設有保險絲,若電路
超音波發生器(超音波發生源或超音 有短路、電流過大或高溫情形發生時
波電源)其作用是把電源(110V、 保險絲會熔斷以切斷電源。
220V 或 380V,50 或 60Hz) 轉 (二)溫控裝置:清洗槽底部設有溫度感應
換成與超音波換能器相匹配的高頻 器控制液溫,當液溫過高時關閉電熱
交 流 電 信 號(20KHz 至 100KHz 器;反之,則開啟電熱器。
或以上),並將所產生超音頻電能
提供給換能器。
◆ ◆超音波發生器 ◆ ◆火災現場平面圖
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